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光学知识:PVD镀膜前的超声波清洗

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镀膜前的超声波清洗是指通过物理方法将基底上的灰尘、油污、印迹等去除干净,确保基底与镀膜更好的结合及生产的顺利进行。清洗是PVD前必不可少的一道工序,也是生产中最重要的工艺。一旦清洗出了问题,不但提供不了满足要求的产品,很有可能会导致客户投诉和赔偿。所以,清洗就显得尤为重要,必须谨慎为之。

那么影响清洗质量的因素有哪些呢?清洗时间、清洗液、机械作用以及温度,这四个因素是相互影响的,一个因素的减弱,可以通过增强另外三个因素的作用来弥补,反之亦然。在这四个因素中,清洗时间的最小化也是追求的目标,这样可以提高清洗的效率。

清洗主要方法和步骤包括:清洗液的浸泡与超声波清洗、漂洗、烘干。但Optolong十二槽超声波清洗机,有个特别大的特点:只需纯净水进行清洗,无须清洗液。

超声波清洗重点是超声波。

超声波是一种频率超出人类听觉范围20kHz以上的声波。超声波的传播要依靠弹性介质,其传播时,使弹性介质中的粒子振荡,并通过介质按超声波的传播方向传递能量,这种波可分为纵向波和横向波。在固体内,两者都可以传送,而在气体和液体内,只有纵向波可以传送。气泡的振动也能对固体表面进行擦洗。气泡还能“钻入”裂缝中做振动,使污物脱落。对于有油脂性污物,由于超声空化作用,两种液体在界面迅速分散而乳化,当固体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时,油被乳化,固体粒子就会脱落。空化气泡可使振动气泡表面存在很高的速度梯度和粘滞应力,促使清洗件表面污物的破坏和脱落,超声空化在固体和液体表面上所产生的高速微射流能够除去或削弱边界污层,腐蚀固体表面,增加搅拌作用,加速可溶性污物的溶解,强化化学清洗剂的清洗作用。

接下来就是漂洗,漂洗是为了将残留在基底上的清洗液或其他脏物彻底清理干净,使基底在烘干之前更加干净。一旦基底上有残留物,那么烘干后将很难清理干净。

最后的步骤是将清洗完的基底放入干燥箱中烘干。因而烘烤温度必须大于100℃,最好在110℃~130℃之间,这样既可以将水分快速蒸发烘干工件.又不至于烘干后,工件温度太高而需要很长时间冷却。

Optolong用十二槽超声波清洗机清洗出来的基底,镀硬膜出来的荧光滤光片有以下特性:

1)单片玻璃双面镀硬膜;

2)高透射率,信号明亮;

3)深截止OD>5,背景幽暗,不串色;

4)波长稳定,不漂移;